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有源磁場消除器“AMC-331”特許機(jī)器株式會社

2024年09月05日 11:12 來源：深圳市京都玉崎電子有限公司

有源磁場消除器“AMC-331”特許機(jī)器株式會社


推出采用微振動測量專-利技術(shù)打造的高性能主動磁場消除器。

“AMC-331”是一種高性能主動磁場消除器，可保護(hù)電子束應(yīng)用設(shè)備免受磁場波動的影響。

通過使用控制器和亥姆霍茲線圈的組合來
控制由磁場傳感器檢測到的干擾磁場，來抑制干擾磁場的影響。它有利于

改善電子顯微鏡的圖像，提高電子束加工設(shè)備的加工精度。 [特點(diǎn)] ■高達(dá)40～60dB的優(yōu)異衰減性能■與使用屏蔽的磁場對策相比，成本約為1/10 ■只需將線圈固定在設(shè)備周圍■根據(jù)目標(biāo)設(shè)備設(shè)計線圈■用于頻率分析以此為基礎(chǔ)，對多種干擾磁場進(jìn)行精準(zhǔn)控制*詳情請參閱PDF文檔或隨時聯(lián)系我們。


基本信息有源磁場消除器“AMC-331”

[其他特點(diǎn)]
■控制方式：準(zhǔn)直流+交流代表值控制+各軸獨(dú)立反饋控制
■控制范圍：±15μT（認(rèn)證）
■控制頻率：準(zhǔn)直流～1kHz
■衰減率：40～60dB

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最后期限請聯(lián)系我們
應(yīng)用/結(jié)果示例[用途]
■掃描電子顯微鏡(SEM)
■透射電子顯微鏡(TEM)
■聚焦離子束(FIB)
■尺寸SEM (CD-SEM)
■電子束光刻系統(tǒng)(EBL)
■質(zhì)譜儀(MS)

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